Komputery przemysłowe dla fabryk półprzewodników: wymagania cleanroomów

Wymagania pomieszczeń czystych

Fabryki półprzewodników działają w pomieszczeniach czystych klasy ISO 1 do 3, czyli środowiskach na tyle czystych, że nawet pojedyncza cząstka o wielkości 0,1 mikrona może zniszczyć chip. Komputery przemysłowe w pomieszczeniach czystych muszą generować zero cząstek: brak wentylatorów (które rozprzestrzeniają cząstki), brak otworów wentylacyjnych (które wytwarzają przepływ powietrza) oraz gładkie powierzchnie niewydzielające cząstek. Bezwentylatorowe, szczelne panele PC w obudowie aluminiowej to jedyny akceptowalny wybór.

Odporność chemiczna i gazowa

Środowiska fabryk półprzewodników wykorzystują agresywne chemikalia procesowe: HF, HCl, H2O2 oraz różne gazy trawiące. Obudowy komputerów przemysłowych muszą być odporne na korozyjne opary. Anodowane aluminium i polerowana stal nierdzewna lepiej znoszą działanie substancji chemicznych niż powierzchnie malowane proszkowo lub lakierowane.

Ekranowanie EMI

Energia RF pochodząca z urządzeń procesowych (trawiarki plazmowe, implantery jonów, reaktory CVD) może zakłócać elektronikę komputerową. Komputery przemysłowe sterujące urządzeniami fabryk półprzewodników muszą posiadać odpowiednie ekranowanie EMI: obudowy zgodne z normą MIL-STD-461 lub SEMI E33 zapobiegają odbiorowi i emisji RF, które mogłyby powodować błędy sterownika lub uszkodzenia sprzętu.

Niezawodność i długoterminowa dostępność

Cykle życia sprzętu dla przemysłu półprzewodnikowego liczone są w dekadach. Narzędzie fabryczne zainstalowane w 2024 roku może wymagać tego samego sprzętu sterującego w 2034 roku. Platformy komputerów przemysłowych z gwarancją dostępności na 7 do 10 lat oraz długoterminowymi programami części zamiennych są niezbędne dla dostawców i operatorów urządzeń fabryk półprzewodników.